6月29日從中國電子科技集團獲悉，該集團旗下中電科電子裝備集團有限公司已實現離子注入裝備28納米工藝制程全覆蓋，有力保障我國集成電路制造行業在成熟制程領域的產業安全。
編輯/王詩詩
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